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  • 产品描述:   适用于4″、6″标准圆形基片匀胶工艺。   1.整机采用框架结构,主要由盒站单元、传片单元、匀胶单元、热处理单元、冷盘恒温单元、控制系统、光刻胶供应系统及排液系统等组成。   2.工作方式为自动完成匀胶工艺加工过程。
  • 产品描述: 片盒 热盘 热盘 匀胶单元 机械手2 机械手1 片盒 热盘 热盘 匀胶单元 产品描述   适用于4″、6″标准圆形基片匀胶工艺。   1.整机采用框架结构,主要由盒站单元、提升器单元、传片单元、匀胶单元、热处理单元、控制系统、光刻胶供应系统及排液系统等组成。   2.工作方式为自动完成匀胶工艺加工过程。
  • 产品描述:   适用于4″、6″标准圆形基片显影工艺。   1.整机采用框架结构,主要由盒站单元、传片单元、显影单元、热处理单元、冷盘恒温单元、控制系统、显影液供应系统及排液系统等组成。   2.工作方式为自动完成显影工艺加工过程。
  • 产品描述: 适用于4″、6″标准圆形基片显影工艺。  1.整机采用框架结构,主要由盒站单元、提升器单元、传片单元、显影单元、热处理单元、控制系统、显影液供应系统及排液系统等组成。  2.工作方式为自动完成显影工艺加工过程。片盒热盘热盘显影单元机械手2机械手1片盒热盘热盘显影单元  
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